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ニデックが3日続伸、子会社が半導体ウエハー搬送用ロボット新製品を発売
配信日時:2023/08/30 09:37
配信元:MINKABU
ニデック<6594.T>が3日続伸している。29日の取引終了後、子会社ニデックインスツルメンツが半導体ウエハー搬送用ロボットの新製品を発売したと発表しており、好材料視されている。
新製品は、バッチ式熱処理装置など、多数の基板をスロットピッチの違うステージへの移載を必要とする工程向けで、ハンドの水平移動にアームリンク構造を用い、最小6.5ミリの狭ピッチまで適用可能な最小回転半径が小さいロボットであることが特徴。また、気密性の高いリンクタイプのアームを採用し、業界トップクラスの清浄度クラスであるISO14644-1の清浄度クラス1に対応しているという。
出所:MINKABU PRESS
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