筑波精工

筑波精工グループは静電チャックの開発･製造･販売を行う研究開発型の企業である。【事業内容】同社は自社開発を行ってきた静電チャックは、対象物に電荷を与えることがなく、低電圧で高吸着力を発生するとともに、コードレスで薄いCarrier型静電チャックを実現する。同社の製品にはサポーター、ステージ等を含む。サポーターは給電ユニットから分離しても長時間吸着力を維持可能な静電チャックのシステムであり、吸着する素材を吸着するときに電源ユニットを使って電圧を加えることで吸着を発生させる。ステージは給電ユニットが付属している静電チャックのシステムであり、吸着する素材を吸着するときに給電し、吸着する素材を離脱させるときは給電を停止する。その他の製品には、静電チャックのその他応用製品を含め、小型の静電チャックを半導体ウエハのハンドリング用マテハンに組み込んだものなどである。