サムコ

サムコグループは半導体等電子部品製造装置メーカーで、薄膜形成・加工装置の製造及び販売を事業とする。【事業内容】同社の製品は、薄膜を形成する化学的気相成長（ＣＶＤ）装置、薄膜を微細加工するエッチング装置、基板表面などをクリーニングする洗浄装置、その他装置等に区分される。ＣＶＤ装置は、反応性の気体を基板上に供給し、化学反応によって薄膜を形成する装置で、一般に半導体、電子部品製造のための半導体膜、絶縁膜、金属膜などを形成するために使われる。エッチング装置は、各種半導体基板上の半導体薄膜、絶縁膜をはじめ微細加工が必要な材料をドライ加工する装置で、反応性の気体をプラズマ分解し、目的物と反応させて蝕刻する。洗浄装置は、実装基板や各種半導体基板などを溶液を用いずドライ洗浄する装置で、減圧下で反応性の気体をプラズマ放電させて処理する装置や紫外線と高濃度オゾンの併用で処理する装置などがある。その他装置は、他の特別な装置である。また、同社は部品、保守メンテナンスサービス等を提供する。